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利特液压

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产品与技术

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实验室设备
产品名称

高真空多靶磁控溅射镀膜设备



 

 

1、产品描述

通过高真空多靶磁控溅射技术制备硬质薄膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜、装饰薄膜、以及各种具有特殊功能的材料表面改性薄膜;

 

2、设备特点及优点

通过阳极层离子源提高离化率,实现高效率和高品质薄膜辅助沉积;

通过脉冲偏压反溅射/刻蚀清洗工件表面及偏压电场辅助沉积。

配备溅射靶 4套,阳极层离子源1套
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