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真空感应惰性气体雾化制粉设备（QVIGA）
所属分类
真空气雾化制粉设备
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产品描述
1、设备原理及用途
该系统采用有坩埚真空感应熔炼技术熔化精炼金属原料，并通过浇铸机构将熔融金属液倒入预加热中间包，从中间包导液管流入雾化喷嘴系统的细金属流经高压惰性气体射流后被雾化。熔融金属和气体射流的结合产生雾化液滴，在雾化塔中凝固并形成球形的细粉。其生产的粉体材料具有含氧量低，细粉收得率高，流动性好等优点。
2、制备粉体种类
2.1 镍基高温合金
2.2 铁、钴、铬基合金
2.3 高合金钢
2.4 高纯铜、铝和镁合金
2.5 铁基非晶合金粉
2.6 贵金属及其合金
3、技术特点
3.1 采用陶瓷坩埚熔炼金属原材料，陶瓷坩埚中间包引流雾化；
3.2 更低的系统泄漏率1x10-8PL/S，高纯气体供给，有效控制增氧量；
3.3 熔化速率与雾化工艺良好结合，有效控制粒径分布范围；
3.4 高压惰性气体雾化工艺保证粉体高的球形度和堆积密度；
3.5 专用雾化喷嘴，优化雾化工艺，提高细粉收得率；
3.6 有效的防尘防爆措施，安全可靠；
3.7 精密制造，结构紧凑，布局美观。
4、规格型号及技术指标
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1、产品描述
通过高真空多靶磁控溅射技术制备硬质薄膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜、装饰薄膜、以及各种具有特殊功能的材料表面改性薄膜；
2、设备特点及优点
通过阳极层离子源提高离化率，实现高效率和高品质薄膜辅助沉积；
通过脉冲偏压反溅射/刻蚀清洗工件表面及偏压电场辅助沉积。
配备溅射靶 4套，阳极层离子源1套
电极感应惰性气体雾化制粉设备（QEIGA）
在高真空环境下充入高纯惰性气体，将预制合金棒通过炉外升降旋转机构送入炉内锥型感应线圈内感应加热熔化，束流熔滴直接流入特制的雾化器喷嘴系统，利用高压惰性气体进行雾化制粉的成套设备。具有无坩埚材料污染，粉体球型度高等优点。采用电极感应熔炼和惰性气体雾化技术可以制备超纯金属粉末。
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