产品与技术
PRODUCTS
高真空多靶磁控溅射镀膜设备
1、产品描述
通过高真空多靶磁控溅射技术制备硬质薄膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜、装饰薄膜、以及各种具有特殊功能的材料表面改性薄膜;
2、设备特点及优点
通过阳极层离子源提高离化率,实现高效率和高品质薄膜辅助沉积;
通过脉冲偏压反溅射/刻蚀清洗工件表面及偏压电场辅助沉积。
配备溅射靶 4套,阳极层离子源1套
电极感应惰性气体雾化制粉设备(QEIGA)
在高真空环境下充入高纯惰性气体,将预制合金棒通过炉外升降旋转机构送入炉内锥型感应线圈内感应加热熔化,束流熔滴直接流入特制的雾化器喷嘴系统,利用高压惰性气体进行雾化制粉的成套设备。具有无坩埚材料污染,粉体球型度高等优点。采用电极感应熔炼和惰性气体雾化技术可以制备超纯金属粉末。
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